Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Phương pháp Lắng đọng Hơi Hóa học của các Phim Mỏng Oxit Đồng
Tóm tắt
Các phim oxit đồng đã được chuẩn bị bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học hữu cơ của đồng acetylacetonat trong môi trường giàu oxy. Các phim này đã được đặc trưng hóa bằng phương pháp nhiễu xạ tia X, quang phổ electron Auger, quang phổ điện tử tia X, và kính hiển vi quét electron. Tại 360°C, các phim Cu2O hình thành với áp suất oxy là 150 torr và áp suất hơi đồng acetylacetonat là 0.2 torr. Phim Cu2O là poly tinh thể, nhưng hướng tinh thể chủ yếu là [111]. Phân tích nhiệt vi sai cho thấy O2 hỗ trợ quá trình phân hủy của tiền chất hữu cơ kim loại trong quá trình nhiệt phân.
Từ khóa
#copper oxide #chemical vapor deposition #Cu2O #thin films #organometallic precursorTài liệu tham khảo
W. M. Sears and E. Fortin, Thin Solid Films, 103, 303 (1983).
S. Nakahara, Thin Solid Films, 102, 345 (1983).
H. S. Potda and A. Mitra, Solar Energy Matl., 4, 291 (1981).
G. Beensh-Marchwicka and M. Slaby, Thin Solid Films, 88, 33 (1982).
O. B. Ajayi, H. S. Akanni, and J. N. Lambi, Thin Solid Films, 185, 123 (1990).
D. N. Armitage, N. I. Dunhill, R. H. West, and J. O. Williams, J. Cryst. Growth, 108, 683 (1991).
V. D. Castro, Appl. Surf. Sci., 28, 270 (1987).
M. M. Jones, Inorg. Chem., 1, 166 (1962).