Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Điện thế nạp của các chất điện môi và dây dẫn cách điện phụ thuộc vào góc tới của chùm electron
Tóm tắt
Các đặc trưng chính của việc nạp điện cho các mục tiêu điện môi và kim loại không được nối đất trong bức xạ bởi các electron năng lượng trung bình (0.5–10 keV) đã được nghiên cứu lý thuyết và thực nghiệm phụ thuộc vào góc tới của chùm electron. Các hệ số phát xạ electron và năng lượng tới hạn thứ hai của các electron sơ cấp (radiating), E
2C
, đã được xác định phụ thuộc vào góc tới α khi các mục tiêu không đang bị nạp điện.
Từ khóa
Tài liệu tham khảo
Cosmos Model, Ed. by M. I. Panasyuk (Moscow, 2007) [in Russian].
D. S. Joy, Scanning 11, 1 (1989).
H. E. Bauer and H. Seiler, in Scanning Electron Microscopy, Ed. by O’Hare, (Chicago, 1984), Vol. 3, p. 1081.
L. Reimer, U. Golla, and R. Bongeler, Optic 92, 14 (1992).
M. P. Seah and S. J. Spenser, J. Electr. Spectrosc. Rel. Phenom. 109, 291 (2000).
N. Sugiyama, S. Ikeda, and Y. Ushikawa, J. Electr. Microscopy 35, 9 (1986).
Y. Ishibashi, T. Kodama, H. Oiwa, and H. Uchikawa, Scanning 14, 219 (1992).
H. Seiler, J. Appl. Phys. 54, R1 (1983).
D. S. Joy, J. Microscopy 147, 51 (1987).
T. Lin and D. S. Joy, Surf. Interface Anal. 37, 895 (2005).
Y. C. G. Yon, J. T. L. Thong, and J. C. H. Phang, J. Appl. Phys. 84, 4543 (1998).
I. M. Bronshtein and B. S. Fraiman, Secondary Electron Emission (Moscow, 1969) [in Russian].
G. Neubert and S. Rogaschewski, Phys. Stat. Sol. A 59, 35 (1980).
H. Hunger and L. Kuchler, Phys. Stat. Sol. A 56, 45 (1979).
A. V. Gostev, S. A. Ditsman, F. A. Luk’yanov, N. A. Orlikovskii, E. I. Rau, and R. A. Sennov, Instrum. Exper. Techn. 53, 581 (2010).
E. I. Rau, S. A. Ditsman, S. V. Zaitsev, N. V. Lermontov, A. E. Luk’yanov, and S. Yu. Kupreenko, Bull. Russ. Acad. Sci.: Phys. 77, 951 (2013).
R. Rettig, M. Kassens, and L. Reimer, Scanning 16, 221 (1994).
J. Cazaux, J. Appl. Phys. 85, 1137 (1999).
A. Palov, H. Fujii, and S. Hiro, Jpn. J. Appl. Phys. 37, 6170 (1998).