Đặc trưng của phim kim cương bằng phổ Raman

Diane S. Knight1, William Β. White1
1Materials Research Laboratory, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania 16802

Tóm tắt

Khi công nghệ chuẩn bị phim kim cương bằng phương pháp CVD hỗ trợ plasma và các quy trình liên quan đã phát triển, phổ Raman đã nổi lên như một trong những công cụ đặc trưng chính cho các vật liệu kim cương. Kim cương lập phương có một chế độ phonon bậc nhất hoạt động Raman duy nhất tại tâm của vùng Brillouin. Sự hiện diện của các đường phổ Raman sắc nét cho phép kim cương lập phương được nhận diện so với nền carbon graphit và cũng cho phép đặc trưng hóa carbon graphit. Những dịch chuyển nhỏ trong số sóng của dải đã được liên kết với trạng thái căng thẳng của các phim được lắp đặt. Hiệu ứng này rõ ràng nhất ở các phim kim cương lắp đặt trên các nền cứng như alumina hoặc carbide. Chiều rộng đường Raman thay đổi tùy thuộc vào chế độ chuẩn bị của kim cương và đã được liên kết với mức độ trật tự cấu trúc. Phổ Raman của kim cương lục giác (lonsdaleite) khác biệt so với kim cương lập phương và cho phép nó được nhận diện.

Từ khóa

#spectroscopy #diamond films #Raman #characterization #cubic diamond #hexagonal diamond #carbon graphit

Tài liệu tham khảo

10.1103/PhysRevB.32.1423

Solin, 1973, Proc. 5th Internat. Conf. on Amorphous and Liquid Semiconductors, 1259

10.1063/1.1841236

Trueb, 1969, Amer. Mineral., 54, 412

Trueb, 1972, Amer. Mineral., 57, 1664

10.1063/1.339754

10.1016/0022-3093(80)90651-1

Woollam, 1985, Appl. Phys. Comm., 5, 263

10.1149/1.2096065

10.1016/0008-6223(84)90130-1

10.1103/PhysRevB.29.3482

10.1016/0008-6223(82)90043-4

10.1016/0008-6223(78)90043-X

10.1111/j.1151-2916.1978.tb09219.x

10.1103/PhysRevB.26.4514

Koster, 1957, Solid State Physics

10.1063/1.1674108

10.1002/pssb.2220610232

Wyckoff, 1963, Crystal Structures, 1, 26

10.1103/PhysRevB.17.876

10.1103/PhysRevB.15.5840

Matsumoto, 1986, Archiwum Naukio Materialach, 7, 179

5 Piano L. S. and Adar F. , Proc. SPIE 822 (1987).

10.1016/0025-5408(88)90013-X

10.1070/RC1984v053n05ABEH003061

Derjaguin, 1977, Growth of Diamond and Graphite from the Gas Phase

10.1103/PhysRevB.20.392

10.1016/0008-6223(74)90068-2

10.1016/0008-6223(78)90042-8

10.1088/0022-3719/18/30/002

10.1016/0008-6223(84)90216-1

Hanfland, 1986, Physica, 139/140 B, 516

10.1103/PhysRevB.30.870

10.1557/JMR.1988.0133

10.1016/0008-6223(86)90239-3

10.1063/1.94271

10.1103/PhysRevB.1.1687

10.1002/jrs.1250160513

10.1126/science.165.3895.799

10.1016/0008-6223(84)90009-5

10.1063/1.1663599

Berry, 1962, Geol. Soc. Amer. Mem., 85, 23

10.1016/0008-6223(77)90033-1

Lax, 1974, Symmetry Principles in Solid State and Molecular Physics

10.1016/0038-1098(77)90998-X