Hiệu chuẩn các đầu dò của kính hiển vi lực nguyên tử

Review of Scientific Instruments - Tập 64 Số 7 - Trang 1868-1873 - 1993
Jeffrey L. Hutter1, John Bechhoefer1
1Department of Physics, Simon Fraser University, Burnaby British Columbia, V5A 1S6 Canada

Tóm tắt

Hình ảnh và các phép đo lực được thực hiện bởi kính hiển vi lực nguyên tử (AFM) phụ thuộc rất nhiều vào các thuộc tính của lò xo và đầu dò được sử dụng để kiểm tra bề mặt mẫu. Trong bài viết này, chúng tôi mô tả một quy trình đơn giản, không phá hủy để đo hằng số lực, tần số cộng hưởng và yếu tố chất lượng của lò xo cần phẳng AFM, cũng như bán kính hiệu quả của độ cong của đầu dò AFM. Quy trình của chúng tôi sử dụng chính AFM và không yêu cầu thiết bị bổ sung.

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

1986, Phys. Rev. Lett., 56, 930, 10.1103/PhysRevLett.56.930

1987, J. Appl. Phys., 61, 4723, 10.1063/1.338807

1992, Phys. Rev. B, 45, 11, 10.1103/PhysRevA.45.R11

1992, Langmuir, 8, 1831, 10.1021/la00043a024

1992, Ultramicroscopy, 42–44, 73

1990, J. Vac. Sci. Technol. A, 8, 3386, 10.1116/1.576520

1992, Rev. Sci. Instrum., 63, 3330, 10.1063/1.1142548

1993, Rev. Sci. Instrum., 64, 159, 10.1063/1.1144419

1992, J. Vac. Sci. Technol. B, 10, 2307, 10.1116/1.586059

1993, Rev. Sci. Instrum., 64, 403, 10.1063/1.1144209

1991, J. Vac. Sci. Technol. B, 9, 431, 10.1116/1.585585

1990, Phys. Rev. Lett., 64, 1931, 10.1103/PhysRevLett.64.1931

1993, J. Appl. Phys., 73, 4123, 10.1063/1.352845

1937, Physica, 4, 1058, 10.1016/S0031-8914(37)80203-7

1969, Proc. R. Soc. London, Ser. A, 312, 435, 10.1098/rspa.1969.0169

1940, Physica, 7, 284, 10.1016/S0031-8914(40)90098-2

1990, Rev. Mod. Phys., 62, 251, 10.1103/RevModPhys.62.251

1991, Rev. Sci. Instrum., 62, 2630, 10.1063/1.1142243

1956, Sov. Phys. JETP, 2, 73

1980, Adv. Colloid. Interface Sci., 14, 3, 10.1016/0001-8686(80)80006-6

1970, Biophys. J., 10, 646, 10.1016/S0006-3495(70)86326-3

1988, Appl. Phys. Lett., 53, 1045, 10.1063/1.100061

1992, Appl. Phys. Lett., 60, 2356, 10.1063/1.107024

Thông tin
Thông tin xuất bản

Review of Scientific Instruments

Tập 64 Số 7

1868-1873

Thông tin tác giả