Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Ứng dụng của các mạch điện động lực học và từ tính trong các bộ điều khiển piezoelectric quán tính
Tóm tắt
Các phương pháp cải thiện hiệu suất hoạt động của các bộ điều khiển piezoelectric quán tính trong phạm vi nanomet của các chuyển động được trình bày. Đề xuất sử dụng hệ thống điện động lực học dẫn từ trường để cải thiện độ chính xác của chuyển động, đo tốc độ di chuyển của đối tượng chuyển động, và giảm rung động của phần tử piezo trong bộ điều khiển.
Từ khóa
#bộ điều khiển piezoelectric quán tính #điện động lực học #mạch từ tính #độ chính xác chuyển động #đo tốc độ di chuyển #giảm rung độngTài liệu tham khảo
Lipanov, A.M., Gulyaev, P.V., and Shelkovnikov, E.Yu., RF Patent no. 2205474 RF, Izobreteniya, 2003, no. 15.
Gulyaev, P.V., RF Patent no. 2247467 RF. MPK 7 H01L41/09, Izobreteniya, 2005, no. 6.