Nội dung được dịch bởi AI, chỉ mang tính chất tham khảo
Nghiên cứu quang phổ điện tử tia X vào cấu trúc hóa học của các lớp phủ hình thành từ plasmas hexamethyldisiloxane/ oxy
Tóm tắt
Tác động của việc bổ sung oxy vào plasmas duy trì bằng vi sóng của hexamethyldisiloxane (HMDSO) đã được nghiên cứu. Sự chú ý được dồn vào các sản phẩm rắn hình thành trên bề mặt nhôm (các lớp phủ plasma). Để tiến hành phân tích định lượng những sản phẩm này, quang phổ điện tử tia X (XPS) của các vật liệu chứa silicon tiêu chuẩn đã được thực hiện. Khi áp dụng điều chỉnh điện tích thích hợp vào quang phổ XP của các lớp phủ plasma HMDSO/O2, một số xu hướng rất rõ ràng xuất hiện. Từ những thay đổi trong thành phần nguyên tố, năng lượng liên kết của các đường cơ bản (Si2p, C 1s và O 1s) và độ rộng, chúng tôi chỉ ra cách mà việc bổ sung oxy vào plasma ảnh hưởng đến bản chất hóa học của lớp phủ plasma. Dữ liệu được báo cáo cũng cung cấp một số thông tin (có giới hạn) về các phản ứng đang diễn ra trong plasma.
Từ khóa
#hexamethyldisiloxane #plasma #oxy #quang phổ điện tử tia X #lớp phủ #cấu trúc hóa họcTài liệu tham khảo
B. V. Tkachuk, V. V. Bushin, V. M. Kolotyrkim and V. M. Smetankina, Polym. Sci. USSR 9 (1967) 2018.
A. M. Wróbel, J. E. Klemberg, M. R. Wertheimer and H. P. Schreiber, J. Macromol. Sci. Chem. A 15 (1981) 197.
A. K. Hays, Proc. Electrochem. Soc. 82–6 (1982) 75.
M. R. Wertheimer, J. E. Klemberg-Sapieha, H. P. Schreiber, Thin Solid Films 115 (1984) 109.
V. Krishnamurthy, I. A. Kamel and Y. Wei, J. Appl. Polym. Sci. 38 (1989) 605.
Y. M. Tsai, F. J. Boerio, W. J. van Ooij, G. K. Kim and T. Rau, Surf. Inter. Anal., 23 (1995) 261.
P. K. Tien, G. Smolinsky and R. J. Martin, Appl. Opt. 11 (1972) 637.
J. Sakata, M. Yamamoto and M. Hirai, J. Appl. Polym. Sci. 31 (1986) 1999.
H. Yasuda, (ed.), “Plasma Polymerisation”, (Academic Press, London, 1985).
R. d'Agostino (ed.), “Plasma deposition, treatment, and etching of polymers” (Academic Press, 1990).
R. A. Assink, A. K. Hays, R. W. Bild and B. L. Hawkins, J. Vac. Sci. Technol. A3 (1985) 2629.
A. M. Wróbel, J. Macromol. Sci. Chem. A22 (1985) 1089.
M. Gazicki, A. M. Wróbel and M. Krystewski, J. Appl. Polym. Sci. Appl. Polym. Symp. 38 (1984) 1.
Idem,, J. Appl. Polym. Sci. 21 (1977) 2013.
A. M. Wróbel, M. Krystewski and M. Gazicki, J. Macromol. Sci. Chem. A20 (1983) 583.
I. Tajima and M. Yamamoto, J. Polym. Sci. Polym. Chem. Edn 23 (1985) 615.
D. T. Clarke and H. R. Thomas, ibid.— 15 (1977) 283.
G. Beamson and D. Briggs, “High Resolution XPS of Organic Polymers—The Scienta ESCA300 Database” (Wiley, Chichester, 1992) p. 72.
R. J. Ward and B. J. Wood, Surf. Interface Anal. 18 (1992) 679.
P. V. Wright and M. S. Beevers, in “Cyclic Polymers”, edited by J. A. Semlyen (Elsevier Applied Science, Amsterdam 1986) p. 85.