Diode phát quang AlGaInP-GaAs liên kết bằng keo trên nền sapphire

IEEE Journal of Quantum Electronics - Tập 38 Số 10 - Trang 1390-1394 - 2002
Shoou-Jinn Chang1, Yan-Kuin Su1, T. Yang2, Chih-Sung Chang2, Tzer-Peng Chen2, Kuo-Hsin Huang2
1The Institute of Microelectronics and Department of Electrical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan
2The Department of Research and Development, United Epitaxy Company Limited, Hsinchu, Taiwan

Tóm tắt

Một phương pháp mới đã được đề xuất để liên kết một diode phát quang AlGaInP-GaAs (LED) trên nền sapphire trong suốt thông qua keo. Phần hấp thụ GaAs sau đó đã được loại bỏ bằng cách etching ướt chọn lọc. Kết quả cho thấy hiệu suất phát sáng có thể đạt được 401 m/W dưới dòng điện bơm vào 20 mA cho LED AlGaInP-sapphire liên kết bằng keo (GB) với bước sóng 622 nm. Ngoài ra, các LED GB này cũng được phát hiện là rất đáng tin cậy, với sự biến đổi nhỏ trong điện áp hoạt động và cường độ phát quang trong quá trình thử nghiệm tuổi thọ.

Từ khóa

#Light emitting diodes #Substrates #Gallium arsenide #Quantum well devices #Wafer bonding #Photonic band gap #Distributed Bragg reflectors #MOCVD #Wet etching #Voltage

Tài liệu tham khảo

10.1109/68.669229 10.1143/JJAP.37.L653 10.1016/S0038-1101(97)00212-8 10.1109/16.662773 10.1109/68.553084 10.1109/68.681479 10.1063/1.125228 10.1016/S0038-1101(98)00148-8 chang, 2001, effects of electron effective mass on the multiquantum barrier structure in algainp laser diodes, Optoelectronics IEE Proceedings-, 148, 117, 10.1049/ip-opt:20010391 chang, 1997, AlGaInP multi-quantum well light-emitting diodes, Proc Inst Elect Eng –Optoelectron, 144, 405, 10.1049/ip-opt:19971554 10.1109/3.655010 10.1109/68.618476 10.1063/1.120063 10.1063/1.117897 sheu, 1998, Investigation of wafer-bonded ($Al_{x}$ $Ga_{1- x})_{0.5}$ $In_{0.5}$ P/GaP light-emitting diodes, Proc Inst Elect Eng —Optoelectron, 145, 248, 10.1049/ip-opt:19982147 10.1143/JJAP.35.4199 10.1143/JJAP.33.6195 10.1116/1.581306 10.1049/el:19960098 10.1109/68.553084