Thiết bị hỗ trợ chủ động nhằm giảm đồng thời nhiệt độ và rung động trong các giai đoạn quét chính xác

Các giai đoạn quét được sử dụng để định vị chính xác trong nhiều quy trình sản xuất tiên tiến, và phải cung cấp gia tốc/giảm tốc cao tại các điểm đổi hướng để đạt được năng suất cao. Các lực quán tính do đó gây ra nhiệt độ động cơ quá mức và rung động còn lại của giai đoạn, cả hai điều này phải được giảm thiểu để duy trì độ chính xác trong định vị. Một giai đoạn quét mới, có thiết bị dựa trên nam châm vĩnh cửu cung cấp lực hỗ trợ một cách chủ động cho động cơ nhằm giảm đồng thời nhiệt độ động cơ và rung động còn lại, được giới thiệu. Thiết bị hỗ trợ chủ động được thiết kế tối ưu để linh hoạt, cho phép nó cung cấp hỗ trợ thích hợp cho các quỹ đạo quét liên quan đến nhiều loại chiều dài/vị trí quét khác nhau. Một phương pháp dựa trên kiểu spline cơ bản được đề xuất nhằm điều khiển tối ưu thiết bị, nhằm tối đa hóa sự hỗ trợ mà nó cung cấp cho các quỹ đạo quét có chiều dài/vị trí quét khác nhau. Các thí nghiệm được thực hiện với một giai đoạn nguyên mẫu có liên quan đến các quỹ đạo quét thường được sử dụng trong xử lý wafer silicon cho thấy sự giảm tới 60% và 34% trong lỗi do nhiệt độ và rung động, tương ứng, khi so với các trường hợp không có thiết bị hỗ trợ chủ động được đề xuất.