Đặc điểm của điện trở phim dày cho ứng dụng cảm biến biến dạng
Tóm tắt
Từ khóa
Tài liệu tham khảo
K. Hoffman, “An Introduction to Measurements Using Strain Gauges” (Hottinger Baldwin Messtechnik GmbH, Darmstadt, 1989).
N. White and A. Cranny, Hybrid Circuits 12 (1987) 32.
O. Abe and Y. Taketa, in Proc. 1988 Int. Symp. on Microelectronics ISHM-88, Seattle, 1988, 217.
M. Prudenziati, B. Morten, F. Cilloni and G. Ruffi, Sensors Actuators 19 (1989) 401.
A. Cattaneo, R. Dell, Acqua, G. Dell, Orto, L. Pirozzi and C. Canali, in Proc. 1980 Int. Symp. on Microelectronics ISHM-80, New York, 1980, p. 221.
A. G. Bishay, D. A. Abdelhady and A. M. Darwish, J. Mater. Sci.; Materials in Electronics 3(3) (1992) 195.
S. Satoh, Y. Takatsuji, F. Katoh and H. Hirata, in Proc. 1991 Int. Symp. on Microelectronics ISHM-91, Orlando, 1991, p. 148.
N. M. White and J. D. Turner, Meas. Sci. Technol. 8(1) (1997) 1.
C. Canali, D. Malavasi, B. Morten, M. Prudenziati and A. Taroni, J. Appl. Phys. 51(6) (1980) 3282.
M. Prudenziati and B. Morten, Hybrid Circuits 10(20) (1986) 37.
M. Hrovat, G. DraŽiČ, J. Holc and D. BelaviČ, J. Mater. Sci. Lett. 14(15) (1995) 1048.
M. Hrovat, D. BelaviČ, J. Holc and S. Šoba, ibid. 13 (1994) 992.
M. Hrovat, J. Holc, Z. SamardŽija and D. BelaviČ, in Proc. 22nd Int. Spring Seminar on Electronics Technology ISSE 99, edited by W. Sauer and K. J. Wolter (Freital-Dresden, 1999) p. 328.
M. Hrovat, Z. SamardŽija, J. Holc and D. Belavic, J. Mater. Sci.; Materials in Electronics 11(3) (2000) 199.
S. Chitale, C. Huang and M. Stein, Hybrid Circuits Technol. 6(5) (1989).
C. Song, D. V. Kerns, Jr., J. L. Davidson, W. Kang and S. Kerns, in IEEE Proc. SoutheastCon 91 Conf., Williamsburg, 1991, Vol. 2 p. 1106.
K. Adachi and H. Kuno, J. Amer. Ceram. Soc. 80(5) (1997) 1055.
R. J. Bouchard and L. J. Gillson, Mater. Res. Bull. 6(8) (1971) 669.
M. A. Subramanian, G. Aravamudan and G. V. S. Rao, Progress in Solid State Chem. 24 (1981) 55.
B. Morten, A. Masoero, M. Prudenziati and T. Manfredini, J. Phys. D: Appl. Phys. 27(10) (1994) 2227.
T. V. Nordstrom and C. R. Hills, in Proc. Int. Hybrid Microelectronics Symp. ISHM-79, Los Angeles, 1979, p. 40.
A. Kubovy, J. Phys. D: Appl. Phys. 19 (1986) 2127.