Công Cụ Mài/Đánh Bóng Để Chuẩn Bị Mẫu TEM

Springer Science and Business Media LLC - Tập 115 - Trang 179-184 - 2011
S. J. Klepeis1, J. P. Benedict1, R. M. Anderson1
1IBM Corporation, Hopewell Junction, USA

Tóm tắt

Một công cụ mài/đánh bóng đã được phát triển để chuẩn bị mẫu TEM. Công cụ cầm tay có đường kính 2.50 inch và chiều cao 3.0 inch. Các mẫu đã được cắt thô, dày từ 300 đến 600 micron, thường được đánh bóng xuống còn dày 5 micron trong khoảng bốn đến sáu giờ với công cụ này. Do các mẫu dày 5 micron rất mỏng và đồng nhất, ta có thể loại bỏ bước tạo lỗ riêng biệt. Tương tự, thời gian cần thiết để mài ion mẫu có thể giảm xuống còn 0.5 đến 2.0 giờ - từ đó giảm thiểu các hiện tượng gây ra bởi mài ion và tăng cường đáng kể diện tích có thể quan sát được bằng TEM. Quy trình này cũng hiệu quả cho tất cả các loại mẫu: thiết bị silicon, gốm sứ hoặc kim loại - cả ở mặt cắt ngang hoặc mặt phẳng.

Từ khóa

#công cụ mài #công cụ đánh bóng #mẫu TEM #chuẩn bị mẫu TEM #mài ion

Tài liệu tham khảo

M-Bond 610 is a product of Measurement Group, Inc., P.O. Box 27777, Raleigh, NC 27611. The Wax is a product of Gatan, 780 Commonwealth Dr., Warrendale, PA 15086 The Metal Bonded Diamond Wheel and the Lecloth (Flocked-Twill) are made by Leco Corp., 3000 Lakeview Avenue, St. Joseph, MI 49085-2396 The Lapping film is a product of Microfinishing Systems Project Industrial Abrasives Division/3M 251-2A-08 3M Center, St. Paul, MN 55144 The Glass Plate is a product of Grayco Co., Lindenhurst, NJ 11757 Syton is available from Remet Chemical Co., Chadwicks, NY 13319