Smooth Top-Down Photoelectrochemical Etching of m-Plane GaN

Journal of the Electrochemical Society - Tập 156 Số 1 - Trang H47 - 2009
Adele C. Tamboli1, Mathew C. Schmidt1, Siddharth Rajan2, James S. Speck1, Umesh K. Mishra2, Steven P. DenBaars1, Evelyn L. Hu1
1#N#a#N#Materials Department and
2#N#bElectrical and Computer Engineering Department, University of California, Santa Barbara, California 93106-9560, USA

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo

10.1016/j.mser.2004.11.002

10.1063/1.115689

10.1143/JJAP.43.L637

10.1063/1.2408643

10.1063/1.1776615

10.1063/1.1806281

10.1116/1.2198848

10.1149/1.2353514

10.1063/1.2805028

Tamboli, 2007, Nat. Photonics, 1, 61, 10.1038/nphoton.2006.52

10.1143/JJAP.46.L126

10.1143/JJAP.46.L190

10.1143/JJAP.45.L1197

10.1063/1.119365

10.1149/1.2085422

10.1063/1.121855

10.1063/1.1719281

10.1007/s11664-999-0029-7

10.1116/1.1767828

10.1149/1.2086736

10.1149/1.2085525

10.1116/1.586654

10.1063/1.2802570

10.1063/1.351723

10.1063/1.2769397

10.1049/el:19991341

10.1049/el:20000215

10.1049/el:20001351

10.1143/JJAP.46.L842

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of the Electrochemical Society

Tập 156 Số 1

H47

Thông tin tác giả