Kinematic modeling and calibration of a flexure based hexapod nanopositioner

Precision Engineering - Tập 37 - Trang 117-128 - 2013
Hongliang Shi1, Hai-Jun Su1, Nicholas Dagalakis2, John A. Kramar3
1Department of Mechanical and Aerospace Engineering, The Ohio State University, Columbus, OH 43210 USA
2Engineering Laboratory, National Institute of Standards and Technology, USA
3Physical Measurement Laboratory, National Institute of Standards and Technology, USA

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Precision Engineering

Tập 37

117-128

Thông tin tác giả