Calibration of the Photoluminescence Method for Determining As and Al Concentrations in Si

Journal of the Electrochemical Society - Tập 137 Số 11 - Trang 3544-3551 - 1990
Michio Tajima1, T. Masui1, Daiki Itoh1, Taneo Nishino1
1Japan Electronic Industry Development Association, Kikaishinkokaikan, Shibakoen 3‐5‐8, Minato‐ku, Tokyo 105, Japan

Tóm tắt

Từ khóa


Tài liệu tham khảo