[{"data":1,"prerenderedAt":-1},["ShallowReactive",2],{"_public_topic_publications_ph%C6%B0%C6%A1ng%20ph%C3%A1p%20cvd{\"limit\":5}":3,"_public_topic_byId_ph%C6%B0%C6%A1ng%20ph%C3%A1p%20cvd":40},{"code":4,"data":5,"meta":17},"SUCCESS",{"latest":6,"mostCited":7,"vietnamFeatured":38,"vietnamLatest":39},[],[8,24],{"publicationId":9,"title":10,"originalTitle":11,"authorNames":12,"authorCount":16,"journalName":17,"vietnamJournal":18,"publishDate":19,"publishYear":20,"totalCitation":17,"url":21,"doi":22,"summary":23},"125ab496-f62f-4f2c-a096-dc7f9209b8e3","Nghiên cứu Photoreflectance của phim GaN được trưởng thành bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại","Photoreflectance Study of Gan Film Grown by Metalorganic Chemical Vapor Deposition",[13,14,15],"K. Yang","R. Zhang","Y.D. Zheng",8,null,false,"2011-02-15",2011,"http:\u002F\u002Flink.springer.com\u002F10.1557\u002FPROC-423-735","10.1557\u002FPROC-423-735","\u003Cp>Nghiên cứu quang học vật liệu khảo sát phổ phản xạ quang học của màng mỏng \u003Ci>GaN\u003C\u002Fi> chế tạo qua \u003Cb class=\"publication-topic-keywords\">phương pháp cvd\u003C\u002Fb> bồi đắp trên đế tinh thể \u003Ci>sapphire\u003C\u002Fi>. Kết quả đo phổ huỳnh quang \u003Cb>tiết lộ\u003C\u002Fb> độ rộng vùng cấm và tính chất sai hỏng mạng tinh thể của lớp màng. Công trình cung cấp thông số chế tạo linh kiện bán dẫn phát quang dù tốc độ sinh trưởng màng còn hạn chế.\u003C\u002Fp>",{"publicationId":25,"title":26,"originalTitle":27,"authorNames":28,"authorCount":16,"journalName":32,"vietnamJournal":18,"publishDate":33,"publishYear":34,"totalCitation":17,"url":35,"doi":36,"summary":37},"5223232c-135c-4153-a8bd-34730b9a4721","Sửa đổi bề mặt của ống nano carbon đa lớp bằng phương pháp MOCVD để tạo cho chúng các tính chất lý hóa cần thiết","MOCVD modification of the surface of multiwalled carbon nanotubes to impart to them necessary physicochemical properties",[29,30,31],"A. M. Ob’edkov","B. S. Kaverin","S. A. Gusev","Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques","2009-08-13",2009,"https:\u002F\u002Flink.springer.com\u002Farticle\u002F10.1134\u002FS1027451009040120","10.1134\u002FS1027451009040120","\u003Cp>Thực nghiệm khoa học vật liệu biến tính bề mặt ống nano carbon đa tường bằng \u003Cb class=\"publication-topic-keywords\">phương pháp cvd\u003C\u002Fb> pha hơi hóa học sử dụng dòng khí mang \u003Ci>argon\u003C\u002Fi> và tiền chất hữu cơ. Phân tích phổ tán xạ \u003Cb>chỉ ra\u003C\u002Fb> mật độ nhóm chức gắn kết cao giúp tăng cường độ bám dính trong chất nền \u003Ci>polymer\u003C\u002Fi>. Quy trình nâng cao tính năng composite dù cần kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ phản ứng.\u003C\u002Fp>",[],[],{"code":4,"data":41,"meta":17},{"id":42,"title":43,"description":44,"content":45,"term":42,"englishTitle":17,"synonyms":17,"definition":17,"discipline":17,"references":17,"faqs":17,"createUser":46,"publishUser":17,"keywords":50,"keywordCount":17,"enrichTopicLink":18,"status":51,"createTime":52,"updateTime":53,"publishTime":17,"linkEnrichedTime":17,"publicationScanTime":54,"contentErrorMessage":17,"viewCount":55,"wikidataId":17,"relateTopics":56},"phương pháp cvd","Phương pháp cvd là gì? Các công bố khoa học về Phương pháp cvd","CVD là viết tắt của Chemical Vapor Deposition, một phương pháp sản xuất các lớp mỏng vật liệu bằng cách sử dụng phản ứng hóa học của các chất hữu cơ và hơi hoặc...","{\"ops\":[{\"insert\":\"CVD là viết tắt của Chemical Vapor Deposition, một phương pháp sản xuất các lớp mỏng vật liệu bằng cách sử dụng phản ứng hóa học của các chất hữu cơ và hơi hoặc khí trong môi trường không khí hoặc áp suất cao. Phương pháp này thường được sử dụng để tạo ra các lớp mỏng kim loại, oxit, nitrit, karbonit và silicat trên các bề mặt vật liệu rắn. CVD có thể được thực hiện ở nhiệt độ cao hoặc thấp tùy thuộc vào liệu pháp và ứng dụng cụ thể.\\nCVD là một quá trình quan trọng trong công nghiệp sản xuất điện tử và vật liệu hiện đại. Phương pháp này được sử dụng để tạo ra các lớp mỏng chất bán dẫn silicon và các oxit phức tạp như silicat và alumina trên các vi mạch điện tử, cảm biến và bộ cảm biến. CVD cũng được sử dụng để tạo ra các lớp công nghệ cao như các lớp phủ chống trầy xước, chịu nhiệt, và chịu hóa chất.\\n\\nCVD có thể được phân loại thành các dạng sau:\\n1. CVD hóa hơi (Thermal CVD): Sử dụng nhiệt độ cao từ 500°C trở lên để kích thích các phản ứng hóa học.\\n2. CVD plasma (Plasma-Enhanced CVD): Sử dụng sự ion hóa hoặc kích thích plasma để tạo ra các loại hóa chất phản ứng, giảm nhiệt độ và tăng tốc độ phản ứng.\\n3. CVD áp suất thấp (Low Pressure CVD): Sử dụng áp suất thấp để tạo ra lớp mỏng.\\n4. CVD ngưng tụ hóa hơi (Metal Organic CVD - MOCVD): Sử dụng hợp chất hữu cơ của kim loại để phản ứng và tạo ra lớp mỏng kim loại trên bề mặt.\\n\\nPhương pháp CVD cung cấp khả năng kiểm soát chính xác độ dày và thành phần của lớp mỏng, dẫn đến sản phẩm chất lượng cao cho nhiều ứng dụng công nghiệp.\\nPhương pháp CVD cho phép sản xuất các lớp mỏng với độ dày từ vài nanomet đến vài micron, và cung cấp khả năng định hình chính xác và kiểm soát kích thước của lớp phủ. CVD cũng có thể được sử dụng để tạo ra các mô hình phức tạp, bao gồm cả các cấu trúc nano và mô hình 3D.\\n\\nỨng dụng chính của CVD bao gồm sản xuất vi mạch điện tử, cảm biến và bộ cảm biến, cũng như sản xuất các vật liệu chịu nhiệt, chịu ăn mòn và chịu mài mòn cho ngành công nghiệp. CVD cũng đã được sử dụng rộng rãi trong sản xuất pin mặt trời và đèn LED để tạo ra các lớp mạ đặc biệt với hiệu suất cao.\\n\\nTuy nhiên, phương pháp CVD cũng có một số hạn chế, bao gồm các yêu cầu nghiêm ngặt về độ phẳng của bề mặt phủ, cũng như vấn đề về quản lý và loại bỏ an toàn các chất thải hóa học liên quan đến quá trình sản xuất.\\n\"}]}",{"id":47,"researcherId":17,"name":48,"imageUrl":49},1,"Nguyễn Ngọc Sơn","https:\u002F\u002Flh3.googleusercontent.com\u002Fa\u002FACg8ocLGfGsF1nYQqYK5BasTLhNu1dBrBXg2fcEgBNPXJ0p2gqLQnO7i=s96-c",[42],"PUBLISHED","2024-01-13T08:36:20.751+00:00","2026-09-02T12:19:38.746+00:00","2026-09-02T12:19:38.745+00:00",604,[57,68,73,84,89,99,104,109,114,119],{"id":58,"title":59,"term":60,"englishTitle":61,"definition":62,"discipline":63,"disciplineCode":64,"disciplineLabel":65,"disciplineColor":66,"disciplineIcon":67},"dna tự do","DNA tự do (cell-free DNA) là gì?","DNA tự do","cell-free DNA","DNA tự do là các đoạn phân tử acid deoxyribonucleic nằm ngoài tế bào, lưu hành tự do trong huyết tương hoặc các dịch sinh học khác của cơ thể.","MEDICAL_HEALTH_SCIENCES","medical-health-sciences","Khoa học y - dược","#D6336C","stethoscope",{"id":69,"title":70,"term":69,"englishTitle":71,"definition":72,"discipline":63,"disciplineCode":64,"disciplineLabel":65,"disciplineColor":66,"disciplineIcon":67},"áp suất ôxy","Áp suất ôxy (oxygen partial pressure) là gì?","oxygen partial pressure","Áp suất ôxy là áp suất riêng phần do các phân tử ôxy tạo ra trong một hỗn hợp khí theo định luật Dalton, hoặc áp lực của lượng ôxy hòa tan trong dung dịch lỏng theo định luật Henry.",{"id":74,"title":75,"term":76,"englishTitle":77,"definition":78,"discipline":79,"disciplineCode":80,"disciplineLabel":81,"disciplineColor":82,"disciplineIcon":83},"cu zn sod","Cu\u002FZn-SOD (copper-zinc superoxide dismutase) là gì?","Cu\u002FZn-SOD","copper-zinc superoxide dismutase","Cu\u002FZn-SOD (copper-zinc superoxide dismutase) là một metalloenzyme chống oxy hóa nội sinh chứa đồng và kẽm, xúc tác phản ứng dị phân gốc tự do superoxide thành oxy phân tử và hydrogen peroxide nhằm bảo vệ tế bào trước tổn thương oxy hóa.","NATURAL_SCIENCES","natural-sciences","Khoa học tự nhiên","#0E9F9C","atom",{"id":85,"title":86,"term":85,"englishTitle":87,"definition":88,"discipline":79,"disciplineCode":80,"disciplineLabel":81,"disciplineColor":82,"disciplineIcon":83},"đường trắc địa","Đường trắc địa (geodesic) là gì?","geodesic","Đường trắc địa là đường cong trên đa tạp khả vi hoặc mặt cong mà vectơ tiếp tuyến chuyển dịch song song dọc theo chính nó, cực tiểu hóa độ dài cung cục bộ trong hình học Riemann và mô tả quỹ đạo rơi tự do trong thuyết tương đối rộng.",{"id":90,"title":91,"term":90,"englishTitle":92,"definition":93,"discipline":94,"disciplineCode":95,"disciplineLabel":96,"disciplineColor":97,"disciplineIcon":98},"nhựa polyester","Nhựa polyester là gì? Phân loại và ứng dụng","polyester resin","Nhựa polyester là nhóm đại phân tử tổng hợp được tạo thành từ phản ứng trùng ngưng giữa các axit đa chức hoặc anhydrit axit với các polyol, đặc trưng bởi các liên kết este trong mạch chính và có khả năng đóng rắn tạo mạng lưới không gian ba chiều đối với các hệ không no.","ENGINEERING_TECHNOLOGY","engineering-technology","Kỹ thuật và công nghệ","#5B62F4","cpu",{"id":100,"title":101,"term":100,"englishTitle":102,"definition":103,"discipline":63,"disciplineCode":64,"disciplineLabel":65,"disciplineColor":66,"disciplineIcon":67},"nhịp tim nhanh thất không duy trì","Nhịp tim nhanh thất không duy trì (NSVT) là gì?","non-sustained ventricular tachycardia","Nhịp tim nhanh thất không duy trì là rối loạn nhịp tim nguồn gốc từ tâm thất với chuỗi từ ba phức bộ thất liên tiếp trở lên có tần số trên 100 lần\u002Fphút, tự kết thúc trong thời gian dưới 30 giây mà không cần can thiệp cấp cứu.",{"id":105,"title":106,"term":105,"englishTitle":107,"definition":108,"discipline":79,"disciplineCode":80,"disciplineLabel":81,"disciplineColor":82,"disciplineIcon":83},"brom hóa","Brom hóa (bromination) là gì?","bromination","Brom hóa là phản ứng hóa học đưa một hoặc nhiều nguyên tử brom vào cấu trúc phân tử của hợp chất hữu cơ hoặc vô cơ nhằm tạo thành liên kết carbon-brom hoặc liên kết dị nguyên tử-brom tương ứng.",{"id":110,"title":111,"term":110,"englishTitle":112,"definition":113,"discipline":63,"disciplineCode":64,"disciplineLabel":65,"disciplineColor":66,"disciplineIcon":67},"băng vết thương","Băng vết thương (wound dressing) là gì?","wound dressing","Băng vết thương là vật liệu hoặc chế phẩm y tế chuyên dụng được che phủ trực tiếp hoặc gián tiếp lên bề mặt tổn thương mô nhằm bảo vệ cơ học, chống nhiễm khuẩn xâm nhập, kiểm soát dịch tiết và thiết lập môi trường vi khí hậu tối ưu cho quá trình tái tạo mô.",{"id":115,"title":116,"term":117,"englishTitle":117,"definition":118,"discipline":79,"disciplineCode":80,"disciplineLabel":81,"disciplineColor":82,"disciplineIcon":83},"anthreninae","Anthreninae là gì? Phân loại và tập tính nhóm bọ thảm hoa","Anthreninae","Anthreninae là tên gọi phân loại học lịch sử của một phân họ bọ da Dermestidae có ấu trùng mang lông mũi mác, được xếp ở cấp tông Anthrenini trong phân họ Megatominae theo các hệ thống phân loại hiện đại.",{"id":120,"title":121,"term":120,"englishTitle":122,"definition":123,"discipline":63,"disciplineCode":64,"disciplineLabel":65,"disciplineColor":66,"disciplineIcon":67},"đặt nội khí quản","Đặt nội khí quản (endotracheal intubation) là gì?","endotracheal intubation","Đặt nội khí quản là thủ thuật can thiệp đưa ống chuyên dụng qua mũi hoặc miệng vào khí quản nhằm thiết lập đường thở nhân tạo, bảo vệ phổi và hỗ trợ thông khí xâm nhập."]