[{"data":1,"prerenderedAt":-1},["ShallowReactive",2],{"_public_topic_publications_laser%20excimer{\"limit\":5}":3,"_public_topic_byId_laser%20excimer":41},{"code":4,"data":5,"meta":21},"SUCCESS",{"latest":6,"mostCited":7,"vietnamFeatured":39,"vietnamLatest":40},[],[8,25],{"publicationId":9,"title":10,"originalTitle":11,"authorNames":12,"authorCount":16,"journalName":17,"vietnamJournal":18,"publishDate":19,"publishYear":20,"totalCitation":21,"url":22,"doi":23,"summary":24},"ea5ce00b-6e32-4193-9863-418226ba8b78","Laser excimer 308 nm và thuốc mỡ tacrolimus trong điều trị bệnh bạch biến ở mặt: Một tổng quan hệ thống và phân tích gộp","308 nm excimer laser and tacrolimus ointment in the treatment of facial vitiligo: a systematic review and meta-analysis",[13,14,15],"Dan-feng Suo","San-wu Zeng","Ling-he Meng",3,"Lasers in Medical Science",false,"2024-03-08",2024,null,"https:\u002F\u002Flink.springer.com\u002Farticle\u002F10.1007\u002Fs10103-024-04033-y","10.1007\u002Fs10103-024-04033-y","\u003Cp>Tổng quan hệ thống y học đánh giá hiệu quả phối hợp giữa chùm tia \u003Cb class=\"publication-topic-keywords\">laser excimer\u003C\u002Fb> bước sóng 308 nm và thuốc mỡ bôi ngoài da \u003Ci>tacrolimus\u003C\u002Fi> trong điều trị bệnh bạch biến \u003Ci>vitiligo\u003C\u002Fi> vùng mặt. Phân tích tổng hợp chỉ ra \u003Cb>phác đồ kết hợp mang lại tỷ lệ tái tạo sắc tố da vượt trội và rút ngắn thời gian hồi phục\u003C\u002Fb> so với đơn trị liệu. Giải pháp đem lại cải thiện thẩm mỹ an toàn cho người bệnh, tuy nhiên chi phí điều trị định kỳ vẫn còn khá cao.\u003C\u002Fp>",{"publicationId":26,"title":27,"originalTitle":28,"authorNames":29,"authorCount":33,"journalName":21,"vietnamJournal":18,"publishDate":34,"publishYear":35,"totalCitation":21,"url":36,"doi":37,"summary":38},"50345dbc-d5bd-480a-a8a8-a97cddc664d5","Khắc phục ăn mòn không hư hỏng GaN với sự hỗ trợ của ánh sáng","Damage-Free Photo-Assisted Cryogenic Etching of GaN as Evidenced by Reduction of Yellow Luminescence",[30,31,32],"J. T. Hsieh","J. M. Hwang","H. L. Hwang",4,"2011-02-10",2011,"https:\u002F\u002Flink.springer.com\u002Farticle\u002F10.1557\u002FPROC-537-G10.6","10.1557\u002FPROC-537-G10.6","\u003Cp>Nghiên cứu vật lý bán dẫn thử nghiệm công nghệ ăn mòn quang hóa cryogenic có sự hỗ trợ của chùm \u003Cb class=\"publication-topic-keywords\">laser excimer\u003C\u002Fb> ArF bước sóng 193 nm trên phiến GaN. Quá trình quang khắc nhiệt độ thấp giúp \u003Cb>giảm thiểu đáng kể hư hại cấu trúc mạng và triệt tiêu phát xạ huỳnh quang màu vàng yellow luminescence\u003C\u002Fb> không mong muốn. Kỹ thuật nâng cao chất lượng bề mặt màng quang điện tử, dù thiết bị làm lạnh sâu đòi hỏi chi phí vận hành lớn.\u003C\u002Fp>",[],[],{"code":4,"data":42,"meta":21},{"id":43,"title":44,"description":45,"content":46,"term":43,"englishTitle":47,"synonyms":48,"definition":51,"discipline":52,"references":53,"faqs":78,"createUser":88,"publishUser":21,"keywords":92,"keywordCount":103,"enrichTopicLink":104,"status":105,"createTime":106,"updateTime":107,"publishTime":21,"linkEnrichedTime":108,"publicationScanTime":109,"contentErrorMessage":21,"viewCount":110,"wikidataId":21,"relateTopics":111},"laser excimer","Laser excimer là gì? Các bài báo nghiên cứu khoa học","Laser excimer là loại laser khí phát ra ánh sáng tử ngoại cường độ cao dựa trên sự kích thích của các phân tử dimer hiếm (như ArF, KrF), ứng dụng rộng","\n  \u003Ch2>Laser Excimer là gì?\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\u003Cstrong>Laser excimer\u003C\u002Fstrong> (excimer laser) là laser excimer là loại laser khí phát ra ánh sáng tử ngoại cường độ cao dựa trên sự kích thích của các phân tử dimer hiếm (như ArF, KrF), ứng dụng rộng rãi trong phẫu thuật khúc xạ và vi chế tạo bán dẫn.\u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Khi các phân tử excimer quay trở về trạng thái cơ bản, chúng không ổn định và phân tách ngay lập tức, đồng thời giải phóng năng lượng dưới dạng photon cực tím. Cơ chế phát xạ này tạo ra chùm tia có năng lượng cao, độ chính xác cực kỳ cao, và thời gian xung rất ngắn, thường ở mức vài chục nanosecond. Điều này giúp laser excimer trở thành công cụ lý tưởng trong các ứng dụng yêu cầu xử lý vật liệu vi mô hoặc can thiệp mô sống với độ chính xác tế bào.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Laser excimer đã và đang đóng vai trò quan trọng trong các lĩnh vực công nghệ cao như vi điện tử, y học khúc xạ, da liễu, và cả trong công nghệ xử lý vật liệu tiên tiến. Đặc điểm kỹ thuật đáng chú ý nhất là khả năng \"gia công lạnh\", tức là loại bỏ vật liệu mà không tạo ra vùng ảnh hưởng nhiệt đáng kể, giúp giảm tổn thương xung quanh mô hoặc lớp vật liệu mục tiêu. (\u003Ca href=\"https:\u002F\u002Fwww.rp-photonics.com\u002Fexcimer_lasers.html?utm_source=chatgpt.com\" target=\"_blank\">RP Photonics\u003C\u002Fa>)\n  \u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>Cơ chế hoạt động\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Cơ chế hoạt động của laser excimer dựa trên việc kích thích một hỗn hợp khí có chứa khí hiếm và halogen dưới tác động của điện năng cao thế. Sự kích thích này dẫn đến sự hình thành của phân tử excimer (excited dimer) hoặc exciplex (trong trường hợp các phân tử không đồng loại), vốn không tồn tại ở trạng thái cơ bản mà chỉ hình thành trong {{topic|%7B%22topic%22%3A%22tr%E1%BA%A1ng%20th%C3%A1i%20k%C3%ADch%20th%C3%ADch%22%7D}}.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Khi phân tử excimer mất năng lượng và phân tách thành các nguyên tử riêng lẻ, chúng phát ra photon có bước sóng đặc trưng, thường nằm trong vùng cực tím sâu (deep UV). Quá trình phát xạ này xảy ra rất nhanh và tạo ra chùm tia có xung ngắn với năng lượng tập trung. Độ rộng xung nhỏ cho phép laser excimer xử lý chính xác đến từng micron mà không gây hư hại nhiệt đến vật liệu hoặc mô xung quanh.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Ưu thế này đến từ nguyên lý phát xạ không qua trạng thái bền vững, cho phép hệ thống tạo ra xung năng lượng cao nhưng thời gian rất ngắn, lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi cắt, khắc vi mô hoặc tái cấu trúc mô sinh học mà không làm biến tính protein hoặc tế bào.\n    \u003C\u002Fp>\u003Ctable border=\"1\" cellpadding=\"6\" cellspacing=\"0\">\n      \u003Ctbody>\u003Ctr>\n        \u003Cth>Thành phần\u003C\u002Fth>\n        \u003Cth>Vai trò\u003C\u002Fth>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>Khí hiếm (Ar, Kr, Xe)\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Chất nền kích thích điện tử\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>Halogen (F, Cl)\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Gắn với khí hiếm tạo excimer\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>Điện cao áp\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Tạo plasma kích hoạt quá trình\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n    \u003C\u002Ftbody>\u003C\u002Ftable>\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>Các loại laser excimer phổ biến\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Laser excimer được phân loại dựa trên tổ hợp khí hiếm – halogen sử dụng, từ đó quyết định bước sóng phát xạ. Bước sóng càng ngắn thì khả năng xử lý chính xác vật liệu càng cao. Một số loại phổ biến gồm:\n    \u003C\u002Fp>\u003Cul>\n      \u003Cli>\u003Cstrong>ArF (Argon Fluoride):\u003C\u002Fstrong> 193 nm – sử dụng nhiều trong phẫu thuật mắt và chế tạo vi mạch hiện đại.\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>\u003Cstrong>KrF (Krypton Fluoride):\u003C\u002Fstrong> 248 nm – được ứng dụng trong quang khắc và một số quy trình sinh học.\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>\u003Cstrong>XeCl (Xenon Chloride):\u003C\u002Fstrong> 308 nm – dùng phổ biến trong điều trị da liễu như bạch biến, vảy nến.\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>\u003Cstrong>XeF (Xenon Fluoride):\u003C\u002Fstrong> 351 nm – thích hợp cho ứng dụng trong xử lý polymer và in công nghiệp.\u003C\u002Fli>\n    \u003C\u002Ful>\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Mỗi loại laser excimer có ưu điểm riêng về mức độ thâm nhập mô, khả năng hấp thụ bởi vật liệu và độ an toàn trong điều trị. Sự lựa chọn phụ thuộc vào mục đích sử dụng và đặc điểm vật lý của đối tượng cần can thiệp. Trong ngành y tế, ArF và XeCl là hai loại được áp dụng phổ biến nhất nhờ khả năng tạo ra chùm tia có cường độ và tần số phù hợp với mô sinh học mà không gây bỏng hoặc hoại tử.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Dưới đây là bảng tổng hợp các đặc tính bước sóng của một số loại laser excimer tiêu biểu:\n    \u003C\u002Fp>\u003Ctable border=\"1\" cellpadding=\"6\" cellspacing=\"0\">\n      \u003Ctbody>\u003Ctr>\n        \u003Cth>Loại laser\u003C\u002Fth>\n        \u003Cth>Thành phần khí\u003C\u002Fth>\n        \u003Cth>Bước sóng (nm)\u003C\u002Fth>\n        \u003Cth>Ứng dụng\u003C\u002Fth>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>ArF\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Argon + Fluor\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>193\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Phẫu thuật LASIK, vi mạch\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>KrF\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Krypton + Fluor\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>248\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Quang khắc, sinh học\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>XeCl\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Xenon + Chlor\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>308\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Da liễu, trị bạch biến\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>XeF\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Xenon + Fluor\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>351\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>In polymer, nghiên cứu vật liệu\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n    \u003C\u002Ftbody>\u003C\u002Ftable>\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>Ứng dụng trong y học\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Laser excimer có vai trò đặc biệt quan trọng trong {{topic|%7B%22topic%22%3A%22y%20h%E1%BB%8Dc%20hi%E1%BB%87n%20%C4%91%E1%BA%A1i%22%7D}}, nổi bật nhất là phẫu thuật khúc xạ điều trị tật cận thị, viễn thị và loạn thị. Trong kỹ thuật LASIK và PRK, laser excimer bước sóng 193 nm được dùng để bóc tách chính xác mô giác mạc nhằm thay đổi độ cong bề mặt và cải thiện khả năng hội tụ của ánh sáng lên võng mạc.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Ưu điểm của laser excimer trong phẫu thuật mắt là không sinh nhiệt, không gây hoại tử mô và {{topic|%7B%22topic%22%3A%22kh%E1%BA%A3%20n%C4%83ng%20ki%E1%BB%83m%20so%C3%A1t%22%7D}} độ sâu cắt ở mức từng micron. Nhờ đó, quá trình hồi phục sau phẫu thuật nhanh, ít biến chứng và không ảnh hưởng đến các cấu trúc nội nhãn. Ngoài ra, công nghệ theo dõi {{topic|%7B%22topic%22%3A%22chuy%E1%BB%83n%20%C4%91%E1%BB%99ng%20m%E1%BA%AFt%22%7D}} {{topic|%7B%22topic%22%3A%22th%E1%BB%9Di%20gian%20th%E1%BB%B1c%22%7D}} được tích hợp giúp tăng độ chính xác và an toàn cho bệnh nhân.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Trong da liễu, laser excimer bước sóng 308 nm (XeCl) được dùng để điều trị các bệnh lý tự miễn như vảy nến, bạch biến và {{topic|%7B%22topic%22%3A%22vi%C3%AAm%20da%20c%C6%A1%20%C4%91%E1%BB%8Ba%22%7D}}. Chùm tia UVB tập trung này giúp ức chế hoạt động của tế bào T, làm giảm viêm và kích thích tái tạo sắc tố, đặc biệt hiệu quả với tổn thương khu trú. (\u003Ca href=\"https:\u002F\u002Fpubmed.ncbi.nlm.nih.gov\u002F26458038\u002F?utm_source=chatgpt.com\" target=\"_blank\">PubMed\u003C\u002Fa>)\n  \u003C\u002Fp>\n\n\n  \u003Ch2>Ứng dụng trong công nghiệp\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Laser excimer có vai trò quan trọng trong {{topic|%7B%22topic%22%3A%22ng%C3%A0nh%20c%C3%B4ng%20nghi%E1%BB%87p%22%7D}} vi điện tử, đặc biệt trong công nghệ quang khắc (photolithography) – một bước thiết yếu trong quá trình sản xuất vi mạch bán dẫn. Với bước sóng cực ngắn, laser excimer cho phép khắc các chi tiết nhỏ đến cấp độ nanomet, hỗ trợ chế tạo các linh kiện điện tử có mật độ cao và hiệu suất lớn.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Trong sản xuất chip, KrF (248 nm) và ArF (193 nm) là hai loại laser excimer được sử dụng phổ biến nhất. Những tia UV này tương thích với các lớp phủ nhạy sáng (photoresist) có {{topic|%7B%22topic%22%3A%22%C4%91%E1%BB%99%20ph%C3%A2n%20gi%E1%BA%A3i%20cao%22%7D}}, đảm bảo tính chính xác trong việc tạo mẫu vi mạch trên wafer silicon. Ngoài ra, công nghệ ArF immersion còn được phát triển để tăng độ phân giải bằng cách sử dụng nước giữa thấu kính và wafer nhằm tăng chiết suất môi trường truyền tia.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Các ứng dụng khác trong công nghiệp bao gồm:\n    \u003C\u002Fp>\u003Cul>\n      \u003Cli>Gia công chính xác vật liệu nhạy cảm như thủy tinh, polymer, gốm\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Khắc họa vi cấu trúc trong công nghệ MEMS\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Xử lý bề mặt vật liệu như làm sạch hoặc tạo mẫu nano không tiếp xúc\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Vi gia công lớp phủ OLED và linh kiện quang học\u003C\u002Fli>\n    \u003C\u002Ful>\n    (\u003Ca href=\"https:\u002F\u002Fwww.spiedigitallibrary.org\u002Fconference-proceedings-of-spie\u002F1598\u002F1\u002FApplications-of-excimer-lasers-in-microelectronics\u002F10.1117\u002F12.51043.full?utm_source=chatgpt.com\" target=\"_blank\">SPIE Digital Library\u003C\u002Fa>)\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>Ưu điểm của laser excimer\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Laser excimer nổi bật so với nhiều loại laser khác ở khả năng phát tia UV có bước sóng ngắn, điều này cho phép xử lý vật liệu ở độ chính xác vi mô và thậm chí nano. Đây là công nghệ lý tưởng cho các quy trình đòi hỏi độ phân giải cực cao trong y học, điện tử, và công nghệ vật liệu tiên tiến.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Một trong những lợi thế lớn nhất của laser excimer là {{topic|%7B%22topic%22%3A%22kh%E1%BA%A3%20n%C4%83ng%20gia%20c%C3%B4ng%22%7D}} “lạnh” – tức quá trình khắc hoặc cắt vật liệu mà không truyền nhiệt đáng kể sang vùng lân cận. Điều này giúp hạn chế biến dạng, cháy cạnh, nứt vỡ hoặc hư hại mô xung quanh.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Bảng sau so sánh các đặc điểm kỹ thuật chính:\n    \u003C\u002Fp>\u003Ctable border=\"1\" cellpadding=\"6\" cellspacing=\"0\">\n      \u003Ctbody>\u003Ctr>\n        \u003Cth>Tiêu chí\u003C\u002Fth>\n        \u003Cth>Laser Excimer\u003C\u002Fth>\n        \u003Cth>Laser CO₂\u003C\u002Fth>\n        \u003Cth>Laser Nd:YAG\u003C\u002Fth>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>Bước sóng\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>193–351 nm (UV)\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>10,600 nm (IR)\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>1,064 nm (IR)\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>Chế độ hoạt động\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Xung\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Liên tục hoặc xung\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Liên tục hoặc xung\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>Hiệu ứng nhiệt\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Thấp\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Cao\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Vừa\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n      \u003Ctr>\n        \u003Ctd>Ứng dụng chính\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Vi điện tử, giác mạc, da liễu\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Cắt mô, phẫu thuật mềm\u003C\u002Ftd>\n        \u003Ctd>Hàn, khắc, trị liệu sâu\u003C\u002Ftd>\n      \u003C\u002Ftr>\n    \u003C\u002Ftbody>\u003C\u002Ftable>\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>Hạn chế và thách thức\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Bên cạnh các ưu điểm, laser excimer cũng tồn tại nhiều thách thức trong vận hành và ứng dụng. Một trong những hạn chế lớn nhất là chi phí thiết bị và chi phí duy trì hoạt động cao. Các loại khí hiếm và halogen sử dụng trong hệ thống có tuổi thọ ngắn, dễ bị phân hủy, cần được thay thế định kỳ.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Hệ thống quang học và điện cao áp trong máy laser excimer yêu cầu bảo trì thường xuyên và điều kiện vận hành nghiêm ngặt như môi trường chân không, nhiệt độ ổn định và chống ăn mòn do halogen. Những điều kiện này làm tăng chi phí đầu tư ban đầu và chi phí bảo trì dài hạn.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Một số hạn chế khác gồm:\n    \u003C\u002Fp>\u003Cul>\n      \u003Cli>Kích thước hệ thống cồng kềnh, khó tích hợp với thiết bị nhỏ\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Tia UV có thể gây nguy hiểm nếu không bảo vệ mắt và da đúng cách\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Phản ứng khí phát sinh cần xử lý để đảm bảo an toàn môi trường\u003C\u002Fli>\n    \u003C\u002Ful>\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>So sánh với các loại laser khác\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    So với các loại laser như CO₂ hoặc Nd:YAG, laser excimer có bước sóng ngắn hơn nhiều, cho phép tập trung năng lượng trong diện tích rất nhỏ. Điều này đặc biệt có lợi cho các quy trình yêu cầu vi xử lý mà không gây tổn thương mô xung quanh hoặc biến đổi vật lý vật liệu.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Tuy nhiên, nếu ứng dụng yêu cầu năng lượng cao hoặc xử lý mô sâu, thì các loại laser khác như Nd:YAG (1064 nm) lại phù hợp hơn nhờ khả năng xuyên sâu vào mô sinh học hoặc kim loại. Trong khi đó, laser CO₂ lại thích hợp cho phẫu thuật mềm nhờ hiệu ứng đốt mạnh.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Việc lựa chọn loại laser phù hợp phụ thuộc vào:\n    \u003C\u002Fp>\u003Cul>\n      \u003Cli>Loại vật liệu hoặc mô cần xử lý\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Độ sâu mong muốn\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Yêu cầu về chính xác, độ phân giải\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Khả năng đầu tư và bảo trì\u003C\u002Fli>\n    \u003C\u002Ful>\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>Xu hướng phát triển\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Các {{topic|%7B%22topic%22%3A%22c%C3%B4ng%20ngh%E1%BB%87%20laser%22%7D}} excimer thế hệ mới đang hướng đến mục tiêu tăng cường hiệu suất, kéo dài tuổi thọ khí hoạt động và giảm kích thước thiết bị. Điều này cho phép tích hợp vào các nền tảng di động hoặc ứng dụng y tế tại chỗ như thiết bị cầm tay hoặc thiết bị nội soi có dẫn laser.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Một số hướng nghiên cứu nổi bật:\n    \u003C\u002Fp>\u003Cul>\n      \u003Cli>Phát triển buồng khí đóng kín giúp tái sử dụng khí nhiều lần\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Ứng dụng AI để hiệu chỉnh chùm tia theo thời gian thực\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Tích hợp laser excimer với robot y tế và hệ thống theo dõi hình ảnh 3D\u003C\u002Fli>\n      \u003Cli>Tối ưu hóa chi phí sản xuất trong chế tạo chip nano\u003C\u002Fli>\n    \u003C\u002Ful>\n  \u003Cp>\u003C\u002Fp>\n\n  \u003Ch2>Kết luận\u003C\u002Fh2>\n  \u003Cp>\n    Laser excimer là một công nghệ laser đặc biệt có khả năng tạo ra tia UV xung ngắn với độ chính xác cực cao, thích hợp cho hàng loạt ứng dụng trong y học và công nghiệp. Với ưu điểm nổi bật là gia công “lạnh” và bước sóng ngắn, nó đã trở thành công cụ then chốt trong sản xuất vi mạch, phẫu thuật giác mạc và điều trị da liễu.\n  \u003C\u002Fp>\n  \u003Cp>\n    Mặc dù còn những hạn chế về chi phí và bảo trì, nhưng với tốc độ phát triển công nghệ hiện nay, laser excimer sẽ tiếp tục được cải tiến và mở rộng vai trò trong các lĩnh vực mũi nhọn của khoa học và công nghệ hiện đại. (\u003Ca href=\"https:\u002F\u002Fwww.rp-photonics.com\u002Fexcimer_lasers.html?utm_source=chatgpt.com\" target=\"_blank\">RP Photonics\u003C\u002Fa>)\n  \u003C\u002Fp>\n","excimer laser",[49,50],"laser exciplex","tia laser excimer","Laser excimer là loại laser khí phát ra ánh sáng tử ngoại cường độ cao dựa trên sự kích thích của các phân tử dimer hiếm (như ArF, KrF), ứng dụng rộng rãi trong phẫu thuật khúc xạ và vi chế tạo bán dẫn.","ENGINEERING_TECHNOLOGY",[54,62,70],{"citationText":55,"title":56,"authors":57,"source":58,"year":59,"doi":60,"url":61},"Kohnen, et al. (2000). Retreating residual refractive errors after excimer surgery of the cornea: PRK versus LASIK. Journal of Cataract and Refractive Surgery.","Retreating residual refractive errors after excimer surgery of the cornea: PRK versus LASIK","Kohnen Thomas","Journal of Cataract and Refractive Surgery",2000,"10.1016\u002Fs0886-3350(00)00431-4","https:\u002F\u002Fdoi.org\u002F10.1016\u002Fs0886-3350(00)00431-4",{"citationText":63,"title":64,"authors":65,"source":66,"year":67,"doi":68,"url":69},"Kim, et al. (2014). Comparison of LASIK Mode Ablation and PRK Mode Ablation in LASEK Using MEL-80 Excimer Laser. Journal of the Korean Ophthalmological Society.","Comparison of LASIK Mode Ablation and PRK Mode Ablation in LASEK Using MEL-80 Excimer Laser","Kim Youngdon, Lee Damho, Kyung Haksu","Journal of the Korean Ophthalmological Society",2014,"10.3341\u002Fjkos.2014.55.11.1625","https:\u002F\u002Fdoi.org\u002F10.3341\u002Fjkos.2014.55.11.1625",{"citationText":71,"title":72,"authors":73,"source":74,"year":75,"doi":76,"url":77},"Grim, et al. (2005). LASIK Enhancement Using Excimer Laser Ablation on the Back of the Flap. Journal of Refractive Surgery.","LASIK Enhancement Using Excimer Laser Ablation on the Back of the Flap","Grim Millicent, Sheard Janine, Martin Lynn","Journal of Refractive Surgery",2005,"10.3928\u002F1081-597x-20050902-10","https:\u002F\u002Fdoi.org\u002F10.3928\u002F1081-597x-20050902-10",[79,82,85],{"question":80,"answer":81},"Bản chất khoa học và nguyên lý cơ bản của laser excimer (excimer laser) là gì?","Laser excimer là loại laser khí phát ra ánh sáng tử ngoại cường độ cao dựa trên sự kích thích của các phân tử dimer hiếm (như ArF, KrF), ứng dụng rộng rãi trong phẫu thuật khúc xạ và vi chế tạo bán dẫn. Khái niệm này cung cấp cơ sở lý luận quan trọng để mô tả, phân tích và giải thích các hiện tượng thực nghiệm.",{"question":83,"answer":84},"Laser excimer được ứng dụng thực tiễn trong những lĩnh vực nào?","Laser excimer được ứng dụng rộng rãi trong nghiên cứu thực nghiệm, chẩn đoán, tối ưu hóa quy trình kỹ thuật và đánh giá tác động thực tế.",{"question":86,"answer":87},"Những yếu tố chính ảnh hưởng đến hiệu quả và sự phát triển của laser excimer là gì?","Bao gồm điều kiện môi trường, phương pháp đo lường phân tích, độ chính xác của công cụ thực nghiệm và sự kết hợp dữ liệu đa nguồn.",{"id":89,"researcherId":21,"name":90,"imageUrl":91},1,"Nguyễn Ngọc Sơn","https:\u002F\u002Flh3.googleusercontent.com\u002Fa\u002FACg8ocLGfGsF1nYQqYK5BasTLhNu1dBrBXg2fcEgBNPXJ0p2gqLQnO7i=s96-c",[93,94,95,96,97,98,99,100,101,102],"trạng thái kích thích","y học hiện đại","khả năng kiểm soát","chuyển động mắt","thời gian thực","viêm da cơ địa","ngành công nghiệp","độ phân giải cao","khả năng gia công","công nghệ laser",10,true,"PUBLISHED","2025-05-11T02:36:33.148+00:00","2026-09-07T03:08:43.771+00:00","2026-09-07T03:08:43.182+00:00","2026-09-06T13:18:15.691+00:00",367,[112,122,125,128,131,134,137,140,143,146],{"id":113,"title":114,"term":113,"englishTitle":115,"definition":116,"discipline":117,"disciplineCode":118,"disciplineLabel":119,"disciplineColor":120,"disciplineIcon":121},"chuẩn chủ quan","Chuẩn chủ quan là gì? Cấu trúc và ứng dụng","subjective norm","Chuẩn chủ quan (subjective norm) là nhận thức của một cá nhân về áp lực và kỳ vọng xã hội từ những người hoặc nhóm tham chiếu quan trọng đối với việc họ nên hay không nên thực hiện một hành vi cụ thể.","SOCIAL_SCIENCES","social-sciences","Khoa học xã hội","#E08600","users",{"id":123,"title":124,"term":123,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"tán xạ","Tán xạ là gì? Các nghiên cứu khoa học về Tán xạ",{"id":126,"title":127,"term":126,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"trắc nghiệm khách quan","Trắc nghiệm khách quan là gì? Các công bố khoa học về Trắc nghiệm khách quan",{"id":129,"title":130,"term":129,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"vật liệu nano","Vật liệu nano là gì? Các công bố khoa học về Vật liệu nano",{"id":132,"title":133,"term":132,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"bộ điều khiển pi","Bộ điều khiển Pi là gì? Các nghiên cứu về Bộ điều khiển Pi",{"id":135,"title":136,"term":135,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"chỉ thị phân tử","Chỉ thị phân tử là gì? Các nghiên cứu khoa học về Chỉ thị phân tử",{"id":138,"title":139,"term":138,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"lqr tự chỉnh","LQR tự chỉnh là gì? Các công bố khoa học về LQR tự chỉnh",{"id":141,"title":142,"term":141,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"bộ lọc kalman","Bộ lọc kalman là gì? Các nghiên cứu khoa học về Bộ lọc kalman",{"id":144,"title":145,"term":144,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"học tập tự điều chỉnh","Học tập tự điều chỉnh là gì? Nghiên cứu khoa học liên quan",{"id":147,"title":148,"term":147,"englishTitle":21,"definition":21,"discipline":21,"disciplineCode":21,"disciplineLabel":21,"disciplineColor":21,"disciplineIcon":21},"chuỗi giá trị toàn cầu","Chuỗi giá trị toàn cầu là gì? Các nghiên cứu khoa học"]