Influence of Substrate Nature on the Microstructure of LPCVD Silicon Films

Journal of Materials Science Letters - Tập 17 - Trang 1899-1901 - 1998
B. Caussat1, J. P. Couderc1, E. Scheid2, C. Bourgerette3, B. de Mauduit3
1Laboratoire de Génie Chimique, UMR CNRS 5503, Cedex, France
2Laboratoire d'Automatique et d'Analyses des Systèmes, UPR CNRS 8001, Toulouse Cedex, France
3Centre d'Elaboration des Matériaux et d'Etudes Structurales, UPR CNRS 8011, 29 rue Jeanne Marvig, Toulouse Cedex 4, France

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Journal of Materials Science Letters

Tập 17

1899-1901

Thông tin tác giả