Low-temperature deposition of hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H): Control of polyhydride incorporation and its effects on thin film properties

Solar Cells - Tập 27 - Trang 121-136 - 1989
G. Lucovsky1,2, G.N. Parsons1,2, C. Wang1,2, B.N. Davidson1,2, D.V. Tsu1,2
1Department of Physics, North Carolina State University, Raleigh, NC 27695-8202, U.S.A
2Department of Materials Science and Engineering, North Carolina State University, Raleigh, NC 27695-8202 U.S.A.

Tài liệu tham khảo

Thông tin
Thông tin xuất bản

Solar Cells

Tập 27

121-136

Thông tin tác giả